石墨和陶瓷基复合材料加工

由人造石墨和陶瓷基复合材料制成的组件被广泛应用于工业领域中。

常见的例子包括真空炉的结构部件、极端高温条件下的隔热材料、以及碳碳复合材料的装料系统等。

由于该材料具有极佳的耐热性和耐化学性，它还适用于航空航天工业（如：航空发动机的制造）和核工程等领域。

石墨基材料在真空炉制造、半导体行业、能源领域、化学工业和核技术等领域中提供了多种可能的应用。如果要将它们用于高纯度的应用中（如：半导体生产），石墨部件本身必须表现出与待处理产品具有相似或更好的纯度。因此，在制造过程中所产生的污染必须保持在最低限度。

石墨提纯在最高可达 2400 °C 的温度和在真空或气体分压条件下进行。由于许多微量元素（特别是金属）会形成对高温非常稳定的碳化物，因此需要借助氯和氟进行纯化。氯和氟可以以相对无害的化合物的形式配合工艺，并且一直到进入炉腔后才会释放它们的反应活性，从而达到纯化效果。

部分典型石墨纯化应用，包括：

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在各种应用中，石墨材料被用作功能性涂层（特别是热解碳和碳化硅以及碳化钽），从而达到提高部件的使用寿命或耐化学性等目的。这些涂层一般通过 CVD 工艺实现。 CVD 工艺在分压或略低于大气压的高温下进行。它们在温度均匀性、控制精度以及工艺气体控制方面均有特殊的要求。

PVA拥有模拟温度分布和气体流动的处理方法，从而使得特定过程的系统设计能够适应客户的应用。

我司与各个客户的工艺程师保持密切的合作关系，帮助他们开发和建造 CVD 反应炉，并在公平竞争环境中为其提供全面的专业知识。

CVD涂层炉的典型例子，包括：

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