等离子体表面处理 / 一种广泛使用的等离子体技术
射频等离子系统是当前应用范围及使用用途最广泛的等离子技术，它在低压真空环境下被广泛应用于工业、半导体和医疗设备应用领域，例如用于生产碳化硅粉末和等离子体发生器以及进行等离子消融手术等。
需要表面清洗、涂层或化学改性的材料表面浸入射频等离子的高能环境中。尽管它们会受到化学反应性种类的影响，这些化学种类通过大量射频等离子系统的定向效应被带到他们的表面。在适当的条件下，这些定向效应可以带来更多的动量。等离子系统可以物理上去除更多的惰性表面污染物和交联聚合物，从而将等离子体处理锁定在适当的位置
等离子系统可根据客户具体应用及吞吐量需求而量身定制。腔室、电极、发电机和真空泵均可根据待加工的特定基材的尺寸和形状进行调整。例如，发电机频率可选范围有40 kHz, 100 kHz, 150 kHz, 13.56 MHz，功率可选范围从1瓦到2000瓦，具体取决于特定工艺需求。
PVA TePla 专注于工程设计，我们的射频等离子系统可为满足特定应用精准需求而量身设计，并且无需增加多余成本，也可普遍满足客户特定预算要求。