FZ-14 区熔晶体生长系统
FZ-14 区熔晶体生长系统是专为工业生产直径达100毫米(4英寸)的单晶硅晶体而设计。根据源棒的尺寸,可以拉出长度达1. 1米的晶体。在这个过程中,晶体的直径和液体区的高度可以通过摄像系统来监测。并且该系统的上部主轴和线圈都是自动定位的。该系统采用无接触熔化工艺,通过使用涡轮分子泵和超纯氩气作为工艺气体,产生高极限真空环境,有效地防止了工艺过程中的污染,同时还能将氮气以受控的方式引入工艺炉体。
PVA TePla为您提供更多个性化选择,例如用于掺杂的气体掺杂系统、封闭式去离子冷却水系统、原料棒的修整器和调整籽晶方向的系统。
产品数据概览:
材料:硅
晶体
晶体 | 1,100 mm |
晶体拉动长度: | 长达100 mm (4″) |
晶体直径: | 2.5 x 10-5 mbar |
极限真空度: | 0.5 bar(g) |
发电机
输出电压: | 30 kW |
频率: | 2.4 MHz |
上轴
进料速度: | 最高30 mm/min |
上部旋转: | 最高35 rpm |
下轴
拉动速度: | 最高 30 mm/min |
下部旋转: | 最高 30 rpm |
尺寸规格
高度 | 6,280 mm |
宽度: | 2,750 mm |
深度: | 3,000 mm |
重量(总): | 约 4,900 kg |