产品介绍
     
 真空炉
* COD 石墨加热真空压力烧结炉
* COV 石墨加热真空热处理/烧结炉
* MOV 金属加热真空扩散焊炉
* MOV 金属加热真空热处理炉
* IOV 感应加热真空热处理炉
* VSG 感应加热熔炼和浇铸炉
* MIM 金属注射成型脱蜡烧结炉
 晶体生长炉
* 半导体单晶硅拉晶炉
* 半导体单晶硅区熔炉
* VGF 太阳能多晶硅铸锭炉
* 化合物半导体多晶铸锭炉
 等离子体设备
* 射频等离子体系统 M4L
* 射频等离子系统 7200
* 射频等离子体系统 9200
* 等离子体笔


 

真空系统分部   

      PVA TePla 公司的真空系统分部专门致力于世界范围内,用于高质量材料的研发、生产和处理的热加工设备和系统的开发、建造及市场推广。本分部迄今已有近50年的经验,并向全世界供应了1000多套系统。

    公司的核心竞争力之一就是制造用于硬质合金的真空压力烧结设备。为此目的设计的COD设备技术也同样非常适用于烧结陶瓷,这种材料正因其很轻的重量和很高的热稳定性而广泛应用于汽车及发动机的生产。在真空状态下进行的热烧结工艺和后续的高达100个大气压的热等静压工艺可以用来生产具有显著材料特性,如硬度和耐磨性的工具和材料,这能确保它们具有更长的使用寿命。

晶体生长系统分部
  在德国阿斯拉的晶体生长系统有限责任公司(CGS)是PVA TePla集团公司一个生产晶体生长设备的分部。其于1999年8月在德国哈瑙成立,是从莱宝系统有限责任公司的晶体生长部独立而来。
数十年来,CGS一直致力于设计和生产用于生产硅晶体的晶体生长设备,由于其技术的领先性,CGS公司是该领域中最重要的公司之一。
  在丹麦Frederikssund的PVA TePla丹麦公司是从2004年五月开始PVA TePla集团公司的另一个晶体生长系统分部。是从Haldor Topsoe A/S的原floatzone分部独立而来。

  PVA TePla丹麦公司的Floatzone技术发展几十年来,使用特别方法生长应用于功率电子学的超纯无氧硅水晶。
核心业务:用于晶圆生长的晶体提拉设备

等离子体系统分部    

    源自于原TePla AG 公司的核心业务,PVA TePla拥有35年以上的等离子系统的设计和制造经验,是世界上最大的等离子清洗机的供应商之一。作为等离子体应用技术的世界领先者,PVA TePla的等离子设备广泛地应用在半导体、生物医疗、纳米材料、光学电子、平板显示及通用工业领域。在世界范围内超过2000台设备的良好运行,充分证明了PVA TePla等离子系统的优越品质。

 

 

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