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技术参数 |
| 操作腔 |
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| 材料
容积(标准)
容积(选项)
腔内尺寸(标准)
腔内尺寸(选项) |
铝
100L
135L
375×375×711mm / 14.76〞× 14.76〞× 28〞
375×375×965mm / 14.76〞× 14.76〞× 38〞 |
| 电极 |
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| 可拆卸五层料架
可拆卸七层料架
转筒篮
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622×318mm(可选腔为876×318mm)
318 O.D. × 880Lmm |
| 真空系统 |
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| 连接方式
工艺气体控制
基础压强
工艺压强
抽空时间
真空计
放气时间 |
KF40
2路质量流量控制器(MFCˊs),最多可达4路。
大约50 mtorr
大约120-2000mtorr
大约1分钟或时间可调的慢抽模式
电偶真空计,量程到10-3torr,可选电容计。
快速或时间可调的缓慢模式 |
| 射频电源 |
风冷 |
| 频率
输出功率 |
13.56 MHz
0-1000 W(标准)
0-1000 W 水冷(选项) |
| 工艺控制 |
所有工艺变量都由计算机控制,包括内部统计和信息都显示在仪表盘上。自选压力控制器,温度监测器等。 |
| 系统控制 |
前后主电源开关,前后急停开关。显示锁定功能。 |
| 微处理器 |
LCD触摸屏,标准电脑键盘或条形码阅读器的键盘接口,打印机接口。 |
| 程序系统 |
Windows系统软件包,手工或自动操作。
大容量存储
64步工艺
安全连锁装置
用户自定义错误信息
三个级别的口令保护程序
以太网配置的远程控制器 |
| 电源配置 |
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| 电源
工艺气体
清洗用气体
压缩空气 |
110V或220V,单相,50/60Hz
1/4〞Swagelok connector,输入压力1-2bar/30PSI
1/4〞Swagelok connector,输入压力1-2bar/30PSI
1/4〞Swagelok connector,输入压力5bar/75PSI |
| 外形规格 |
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| 尺寸
重量 |
635×1120×965mm / 25〞×44〞×38〞(标准)
635×1120×1120mm/25〞×44〞×48〞(选项)
335 kg/739 lbs |