特点
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通过热区六面加热实现高效率,缩短熔化周期;
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底部装料系统方便快捷,易于操作和维修;
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垂直梯度定向结晶工艺时对加热器的温度进行精确控制从而保证出色的产品质量;
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全自动工艺控制,根据不同的原料质量预先选择加热菜单;
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提供为优化工艺而进行的可选配置的升级;
技术参数
● 坩锅尺寸(宽 x 长 x 高):720mm x 720mm x
420mm,选项:840x840x420(JUMBO);
● 硅锭质量 > 250 Kg (390
Kg);
● 工作温度:最高1550 ºC
● 功率:220 KVA (330 KVA),400V
/ 3 Ph / 50 Hz
● 设备占地 (宽 x 长 x 高):4500mm x 4000mm x
4500mm;
选项
● 用于 "Jumbo"型坩锅的炉体和电源;
● 料车,用于装载装好硅料的坩锅;
● SCADA 系统(管理、控制和数据采集)
,用于控制整个硅锭生产线;
注: ●
公司几十年来一直为硅片材料的生长提供各种设备,例如用于单晶的提拉法和区熔法,用于多晶的定向结晶炉等。
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